等離子技術(shù)

提高等離子的發(fā)生效率和功率，為小型化及工業(yè)應(yīng)用做準(zhǔn)備；紫外光源前期將面對科研的光譜和質(zhì)譜用戶，后期將瞄準(zhǔn)光刻等高端需求，離子源將作為工業(yè)化用途，完成對目前離子源技術(shù)的替代。

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