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EN 021-6525 3206

材料沉積表

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Cu

時間:2021.08.25來源 :點擊次數(shù):2758次
材料 符號(原子序數(shù))
熔點(℃)
密度(g/cm3)
Z-Ratio
飽和蒸氣壓(℃)
建議蒸發(fā)源*
建議坩堝*
注意事項
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Cu(29)
1084 8.96 0.437 727 857
1017
MT/HT PBN -




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