Mini電子束蒸發(fā)源由熱電子直接轟擊棒材或坩堝，工作溫度最高可達(dá)約3000℃。帶線性驅(qū)動(dòng)，棒材位置可調(diào)。適用于難熔金屬的摻雜和薄膜生長。
| ● 高壓最高2kV，發(fā)射電流最大200mA | ● 可程控發(fā)射電流 | ● 內(nèi)置水冷和擋板 |
| ● 真空內(nèi)長度可定制 |
小型電子 束蒸發(fā)源 | 模塊描述 | 配置參數(shù) |
| 型號 | E38EB | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF |
| 真空內(nèi)長度 | 240mm | |
| 真空內(nèi)外徑 | 36mm | |
| 工作距離 | 80-160mm | |
| 坩堝 | 棒材尺寸 | 直徑2.5mm，長度60mm |
| 坩堝容量 | 0.25cc | |
| 坩堝材質(zhì) | W, Ta | |
| 溫度 | 最大燈絲電流 | C型 |
| 最大高壓 | 2kV | |
| 最大發(fā)射電流 | 200mA | |
| 束流穩(wěn)定性 | ≤0.05?/s | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ |
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